電子顯微鏡是納米材料科學、生物、半導體等領域研究的必須的大型科研儀器，按照使用的電子源種類不同可以分為鎢燈絲、LaB6 和場發射型電子顯微鏡。不同種類的電子源是應用到不同技術的電子槍中，就目前的技術來說這三種技術中，使用場發射電子源的電子槍分辨率最高，電子源使用壽命也是最長的。

國產電子源質量已經與進口相當

大束科技離子源

01高質量電子顯微鏡長期被美日壟斷

電子槍是電子顯微鏡系統中最為核心的部分，正是由于沒有場發射電子源技術，沒有對應場發射電子槍，我國目前只有一家可以生產鎢燈絲掃描電子顯微鏡的企業，TEM透射電鏡只有日本電子和美國的賽默飛世爾可以生產，高質量掃描電子顯微鏡也只有日本兩家企業，美國賽默飛世爾、德國ZEISS和捷克的Tescan可以生產。而電子顯微鏡里的核心部件場發射電子源只有日本和美國可以生產，歐洲企業也只能依靠外購。

02二場發射電子制造難度高

在場發射電子槍技術中，有冷場和熱場區別，不論是冷場還是熱場，目前使用的肖特基場發射電子源或叫場發射燈絲都是采用在鎢單晶針上鍍上了氧化鋯來降低電子的逸出功，單晶鎢尖上的氧化鋯只有一個分子的厚度。在拉出極高電場的作用下，電子源在發射面上發射出電子束，經過聚光鏡的控制作用打到樣品上的電子束光斑一般只有0.8到1 nm 。電子束的光斑大小直接影響到了電子顯微鏡的分辨率，電子束的束斑越小分辨率越高。

03國產電子源質量已經與進口相當

大束科技（北京）有限責任公司的中外研發人員聯合在研制高質量電子顯微鏡的同時，研發了場發射電子源，在經過研發實驗，材料選擇、制造工藝改進等系列工作后，大束科技量產的場發射燈絲經過在電子顯微鏡設備上實際裝機測試，其生產的肖特基場發射電子源與進口產品相比較，電子束的亮度和穩定性與其相當，使用壽命在相同工況下已經高于國外廠家標稱使用時間。經過抽查測試，量產后的燈絲的一致性很好。目前的產品可以替換所有品牌的電鏡的電子源。

大束科技（北京）有限責任公司研發的場發射電子源的量產，標志著這一被美日發達國家卡脖子的技術已經突破，可以為中國電子顯微鏡廠家以及用戶提供高性價比的電子源，希望在電鏡研發者和電鏡使用者共同努力下，中國制造再添利器，實現高質量的電子顯微鏡中國制造。